MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面，已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件，在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器，为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。

除了健康领域，MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中，可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等；可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况，协助佩戴者提起重物、快速走动等；集成了柔性触力传感器的人造皮肤，可以用于义肢上，感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一，东莞派瑞林镀膜加工介绍，派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。

现代科学技术，特别是航天航空、电子及等科学技术高速发展对材料提出新的要求，尤其是航天航空工业对材料的要求更为苛刻。首先是要求材料性能稳定，同时具有重量轻、耐高温、耐冲刷、抗辐射等综合的优良性能。陶瓷涂层由此应运而生。

陶瓷涂层是在传统的陶瓷材料基础上发展起来的新型复合材料，它即保持了传统陶瓷材料的耐高温、抗磨损、耐腐蚀等优点，同时保持了基体材料的结构强度，由于陶瓷涂层的厚度通常都在1毫米之内，大大地减少了零件的消极重量，其抗热冲击性能优于整体陶瓷。

PECVD(Pulse Enhanced Chemical Vaporized Deition，东莞派瑞林耐腐蚀涂层，电浆辅助化学气相沉积)工法并配合密闭抽真空设备，所以纳米等级的涂层颗粒可以顺着整机产品的微小缝隙飘进并附着于整机产品内部的大多数角落位置，派瑞林，也因为涂层的缝隙比水分子还小，所以可以起到隔绝湿气对电子产品的影响。另外，由于涂层的厚度大概有5-50nm，弹簧类零件（如连接器）只要经过摩擦就可以轻易的刮除这些涂层，达到电气接触的目的。

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